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          淺談下石英爐管的制作方法
          編輯:東??h鴻翔石英制品有限公司   時間:2019-05-16

              為了戰勝現有技能中現有的石英爐管進氣方法氣體流場不均勻,摻雜原子在反應室內散布不均勻,簡單形成爐口分散方阻偏高,爐尾分散方阻偏低,因熱場與氣流散布不均也導致了分散后硅片片內與片間的均勻性相對較差,分散爐管與爐門間密合度一般,爐口簡單漏氣,擾亂了爐內氣流,簡單導致爐口分散方阻偏高或分散方阻均勻性較差的問題,供給一種分散爐用石英爐管。

              本實用新型處理其技能問題所選用的技能方案是:一種分散爐用石英爐管,包括管體,所述管體一端的爐口處設置有爐門,所述爐門與所述爐口之間選用雙層密封結構,所述爐門與管體連通的面上開設有導流槽,所述導流槽的底面為球面,所述管體另一端的爐尾端面的中心設置有尾氣管,所述爐尾端面上圓周均布有若干進氣管,所述進氣管穿過所述管體內部,在爐口處與爐門相對設置。

              本實用新型在爐門與爐口之間選用雙層密封結構,氣體不簡單從爐口處走漏,提升了密封作用,減少了反應室內氣體擾動,減少了爐口熱量丟失;

              爐門上設置底面呈球面的導流槽,進氣管穿過管體內部,在爐口處與爐門相對設置,當氣體從進氣管進入管體后,氣體從進氣管內噴出,直接噴向導流槽的底面,導流槽的底面為球面,噴向導流槽的氣體通過導流槽底面的反彈后充滿整個管體,并向爐尾流動,終究從爐尾中心的尾氣管排出。

              以上是小編給咱們敘述的石英爐管的制作方法,大咱們能夠簡單的了解看看。內容僅供參考,想要了解更多關于石英爐管的問題能夠咨詢咱們廠家。



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